中药粉末灭菌一直是比较困难的，目前市面上常用的设备就是高压蒸汽灭菌柜、热风循环干燥箱、隧道式微波干燥机、辐照等，臭氧穿透性非常差，所以灭菌效果差，几乎不用考虑，用在洁净空间消毒是可以的。
高压蒸汽灭菌柜：115-121℃，15-30min，蒸汽穿透性差，存在上下死角，灭菌不彻底。自然冷却时间长。花费很大人力物力和时间清洗托盘。要按照压力容器规范进行维护保养，易引起爆瓶和不安全事故。湿热灭菌易洁快，需要重复粉碎，已造成二次污染。
热风循环干燥箱：135-140℃ 3-5h；160-170℃ 2-4h；180-200℃ 0.5-1h，干热空气穿透性差，只在物料表面流过，自然冷却时间长。易结块，只适合耐高温药粉，对大部分药粉都不适合，环境温度高，浮尘大，易造成炭化物污染。